路新春

　　路新春，男，汉族，1966年5月出生，无党派人士，博士研究生学历、研究员，享受国务院政府特殊津贴。现任华海清科股份有限公司董事长、首席科学家。

　　该同志政治立场坚定，坚决拥护党的领导，长期致力于纳米摩擦学、纳米制造理论与技术研究，将纳米制造相关理论与技术应用于集成电路装备研究。响应国家重大战略需求，攻克了集成电路整机装备工程应用中的多项难题，研制出我国首台12英寸化学机械抛光装备及我国首台12英寸超精密减薄-化学机械抛光一体装备，相关装备总体性能达到国际先进水平、关键性能达到国际领先水平，打破了美国、日本垄断，解决了我国在集成电路制造抛光及减薄领域的“卡脖子”问题。二十余年扎根科研生产一线，取得了集成电路装备的重大技术成果与产业化应用成果，解决了我国在集成电路CMP、减薄装备领域的重大战略需求，为我国集成电路制造技术进步作出了杰出贡献。

　　该同志曾获得全国机械工业劳动模范、全国五一劳动奖章等称号和国家技术发明一等奖、国家科技进步奖二等奖、国家自然科学二等奖。

　　2025年，被授予“全国劳动模范”荣誉称号。